LS-9650TD 厚/薄膜激光修调系统主要应用
厚薄膜混合电路 被动元件 SMD 电路 功能修调
LS-9650TD 厚/薄膜激光修调系统指标和功能(标准配置)**
Nd: YAG 激光 : 激光波长: 1064nm 激光生产厂家:Spectral Physics ;
功率: 6.5 瓦,可调 激光冷却: 空冷
探针台 : 分辨率:1 μm 速度:1mm/20ms 行程:20mm
自动Z 轴: 行程可达100mm(可选)
Theta 轴范围: ±5°(可选)
软件系统: LS-MaTriCS, 逻辑流程图式软件,操作简单
ASW583测量桥电阻测量: 0.1 Ohm -100 Mohm, 分辨率0.01%, 精度0.02%
图像识别系统标配 : Edge Detection 和SMD-Search Geometric Pattern Matching(可选)
工业电脑,GPIB
检流计: 闭环控制,恒温装置,双镜头系统
厚膜镜头 : 镜头焦距:163mm 光斑:30μm-50μm 视场: 100 x 100 mm 分辨率<1.52μm,重复精度<6μ
薄膜镜头 : 镜头焦距:80mm 光斑:《=15μm 视场: 50 x 50 mm, 分辨率<0.8μm,重复精度<2.5μm
分步重复工作台 : 分辨率1μm,重复精度±1μm 速度: 达400mm/s, 加速度: 10m/Sec
行程范围: X: 280mm; Y: 345mm
ASW583 测量桥电压测量 : 0.1-100V, 分辨率0.03%, 精度0.01%
建议环境温度: 0-35摄氏度
标准夹具: 6″x 4″,(8″x 6 ″可选)
德国制造
苏州和谐电子技术有限公司
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